HSPM-05PS室温探针台霍尔测试系统可以为精密微小（纳米级）的微电子器件提供一个固定磁场的测试环境，通过显微镜将被测样品放大，用高精度微探针进行扎针，外部连接霍尔测量仪可进行霍尔测试和分析。 

HSPM-05PS室温探针霍尔测试系统为8英寸待测样品、器件提供了一个垂直磁场环境。外部连接其他电测仪表可在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏电学测试，比如不同磁场下电流、电压、电阻等电学信号等。

系统特点：

•稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移 
•样品座可以放置8英寸的晶圆样品，采用多孔分区控制气体吸附固定。 
•能自动控制永磁铁的前后运动和N.S极翻转，并且能精准定位，磁场大小0.5T 
•可安装6个探针臂 
•探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。 
•探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内 
•CCD放大倍数为180倍，工作距离为100mm

测试材料：

• 热电材料：碲化铋、碲化铅、硅锗合金等
• 光伏材料/太阳能电池：（A硅（单晶硅、非晶硅）、CIGS（铜铟镓硒）、碲化镉、钙钛矿等）
• 有机材料：（OFET、OLED）
• 透明导电金属氧化物TCO：（ITO、AZO、ZnO、IGZO（铟镓锌氧化物）等）
• 半导体材料：SiGe、InAs、SiC、InGaAs、GaN、SiC、InP、ZnO、Ga2O3等
• 二维材料：石墨烯、BN、MoS2等

参数和指标：